潔(jie)淨(jing)室(shi)是工(gong)業(ye)生(sheng)產(chan)中(zhong)的重要組成部分(fen)，半導體(ti)、平麵(mian)液晶顯示器(qi)、光電(dian)子(zi)和生(sheng)物(wu)醫(yi)藥(yao)都需要潔(jie)淨(jing)的生(sheng)產(chan)車(ju)間(jian)，通(tong)常潔(jie)淨(jing)室(shi)是指空(kong)間(jian)空(kong)氣(qi)懸浮粒子(zi)濃渡被控(kong)製(zhi)在(zai)規(gui)定界限(xian)內(nei)的房(fang)間(jian)或限(xian)定空(kong)間(jian)，這塵(chen)埃粒子(zi)的粒徑越小和被限(xian)定的粒數(shuo)越小，潔(jie)淨(jing)度(duo)便越高。靜(jing)電(dian)對於(yu)潔(jie)淨(jing)室(shi)來(lai)說無(wu)疑是一大(dai)危害(hai)，主要表現於(yu)靜(jing)電(dian)放電(dian)、噪聲、電(dian)擊人體(ti)等危害(hai)，如何控(kong)製(zhi)潔(jie)淨(jing)室(shi)的靜(jing)電(dian)，成為當務(wu)之急，下麵(mian)由防靜(jing)電(dian)資(zi)訊(xun)網(wang)總結出幾點潔(jie)淨(jing)室(shi)的靜(jing)電(dian)控(kong)製(zhi)辦(ban)法供(gong)大(dai)家參(shen)考：

（1）確定靜(jing)電(dian)控(kong)製(zhi)級別

（2）盡量減少靜(jing)電(dian)荷的產(chan)生(sheng)

（3）泄放和中(zhong)和的辦(ban)法加速靜(jing)電(dian)荷消散，防止靜(jing)電(dian)積累  　　

（4）保(bao)護產(chan)品(pin)不受ESD的損壞

（1）元器(qi)件、組件和設備(bei)靜(jing)電(dian)敏感度(duo)分(fen)級  　　

1級：易遭受0-1999V靜(jing)電(dian)電(dian)壓損壞的  　　

2級：易遭受2000-3999V靜(jing)電(dian)電(dian)壓損壞的  　　

3級：易遭受4000-5999V靜(jing)電(dian)電(dian)壓損壞的  　　

而敏感靜(jing)電(dian)壓大(dai)於(yu)16000V的，便不必采取防靜(jing)電(dian)措施。

（2）靜(jing)電(dian)防護工(gong)作(zuo)區(ou)的分(fen)級  　　

A級：允許對地(de)靜(jing)電(dian)電(dian)位不超過±100V  　　

B級：允許對地(de)靜(jing)電(dian)電(dian)位不超過±1000V  　　

實(shi)際工(gong)程(cheng)中(zhong)是分(fen)靜(jing)電(dian)電(dian)位不超過100V、500V、1000V等對應(ying)元器(qi)件、組件和設備(bei)靜(jing)電(dian)敏感電(dian)壓的3級。  　　

這是控(kong)製(zhi)靜(jing)電(dian)三步曲的第一步，在(zai)這淨(jing)化(hua)工(gong)作(zuo)環(huan)境(jing)中(zhong)，最好(hao)的措施：  　　

（1）盡量采用(yong)性(xing)質相似器(qi)材，減少在(zai)接觸摩擦分(fen)離過程(cheng)中(zhong)產(chan)生(sheng)靜(jing)電(dian)電(dian)荷；  　　

（2）盡量采用(yong)導靜(jing)電(dian)型或靜(jing)電(dian)耗散型材料(liao)的器(qi)材，減少接觸摩擦分(fen)離過程(cheng)產(chan)生(sheng)積累靜(jing)電(dian)荷；  　　

（3）盡量采用(yong)減少接觸摩擦分(fen)離而產(chan)生(sheng)靜(jing)電(dian)荷的生(sheng)產(chan)流程(cheng)。  　　

這是控(kong)製(zhi)靜(jing)電(dian)三步曲的第二步，在(zai)微電(dian)子(zi)生(sheng)產(chan)的淨(jing)化(hua)室(shi)中(zhong)最通(tong)常的措施是接地(de)，采用(yong)導電(dian)性(xing)或耗散性(xing)材料(liao)泄放靜(jing)電(dian)荷，以及(ji)離子(zi)化(hua)消電(dian)器(qi)中(zhong)和靜(jing)電(dian)荷。

（1）接地(de)  　　

潔(jie)淨(jing)室(shi)應(ying)設一個獨立靜(jing)電(dian)接地(de)係(ji)統(tong)（包括地(de)麵(mian)接地(de)金屬網(wang)支係(ji)統(tong)、生(sheng)產(chan)線(xian)工(gong)作(zuo)站(zhan)接地(de)支係(ji)統(tong)），以便室(shi)內(nei)所(suo)有(you)設備(bei)金屬外殼、移動設備(bei)的金屬支架、防靜(jing)電(dian)器(qi)材等安全(quan)、有(you)效地(de)將靜(jing)電(dian)荷泄放至大(dai)地(de)。工(gong)作(zuo)人員的帶電(dian)則通(tong)過手腕帶接地(de)，以及(ji)通(tong)過防靜(jing)電(dian)鞋或腳跟帶再經防靜(jing)電(dian)地(de)麵(mian)向大(dai)地(de)泄放。地(de)麵(mian)、牆麵(mian)、頂棚、隔斷等是硬接地(de)，設備(bei)外殼、移動設備(bei)（車(ju)、椅、貨架等）、工(gong)作(zuo)台等則屬軟接地(de)。  　

（2）離子(zi)化(hua)肖電(dian)器(qi)  　　

潔(jie)淨(jing)室(shi)中(zhong)生(sheng)產(chan)組裝的元器(qi)件、PCB，生(sheng)產(chan)線(xian)、工(gong)作(zuo)站(zhan)上總是難免存在(zai)一些不能接地(de)的絕緣導體(ti)和絕緣介質材料(liao)（例(li)如大(dai)多數(shuo)普(pu)通(tong)塑料(liao)）。在(zai)某些環(huan)境(jing)下，離子(zi)化(hua)消電(dian)器(qi)常用(yong)來(lai)局部消散這些物(wu)體(ti)上的靜(jing)電(dian)荷，而更經常的是借助於(yu)空(kong)氣(qi)離子(zi)化(hua)來(lai)中(zhong)和在(zai)絕緣介質上和孤立導體(ti)上的所(suo)帶靜(jing)電(dian)電(dian)荷。

（3）導靜(jing)電(dian)和靜(jing)電(dian)耗散材料(liao)  　　

導靜(jing)電(dian)材料(liao)和靜(jing)電(dian)耗散材料(liao)由於(yu)其具有(you)導靜(jing)電(dian)性(xing)，也是很好(hao)的靜(jing)電(dian)荷泄放材料(liao)，而且比金屬導體(ti)泄放更具有(you)安全(quan)性(xing)，通(tong)常被采用(yong)做地(de)板(pan)、牆麵(mian)、工(gong)作(zuo)台、周轉容器(qi)、鑷子(zi)、刷子(zi)等防靜(jing)電(dian)器(qi)材。  　　

這是控(kong)製(zhi)靜(jing)電(dian)的三步曲中(zhong)最後一步。在(zai)微電(dian)子(zi)生(sheng)產(chan)的淨(jing)化(hua)室(shi)中(zhong)，為阻止ESD發生(sheng)在(zai)靜(jing)電(dian)敏感元器(qi)件或組件、PCB上，一種方(fang)法是對元器(qi)件和組件提(ti)供(gong)合適的接地(de)或分(fen)路(lu)以“消散”掉產(chan)品(pin)上存在(zai)的靜(jing)電(dian)荷；另一種方(fang)法是用(yong)恰當的包裝方(fang)法和材料(liao)來(lai)處(chu)理(li)靜(jing)電(dian)敏感器(qi)件的包裝和輸運。這些材料(liao)可有(you)效地(de)屏蔽電(dian)荷侵入產(chan)品(pin)以及(ji)減少產(chan)品(pin)在(zai)包裝箱(xiang)中(zhong)移動而產(chan)生(sheng)靜(jing)電(dian)荷。國(guo)際上，半導體(ti)、平麵(mian)液晶顯示器(qi)，光電(dian)子(zi)發展很快，集成度(duo)越來(lai)越高，芯片線(xian)徑越來(lai)越細，對防靜(jing)電(dian)要求越來(lai)越高。美國(guo)ESD協會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜(jing)電(dian)放電(dian)控(kong)製(zhi)大(dai)綱，對SSD靜(jing)電(dian)敏感性(xing)分(fen)類(lei)已作(zuo)了些修改(gai)。 

這給元器(qi)件使用(yong)者一個警示，不論在(zai)人員或設備(bei)進行裝備(bei)製(zhi)造時，告訴你能需要的環(huan)境(jing)控(kong)製(zhi)要求。如果EPA區(ou)域(yu)內(nei)允許電(dian)壓達到(dao)25V的話，恐怕我們現有(you)的防靜(jing)電(dian)器(qi)材、裝備(bei)、工(gong)具以及(ji)工(gong)程(cheng)都要經過一番艱苦的努力。